爱游戏-天准科技发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备

[导读]开启国产半导体高端检测装备新时期 中国姑苏2024年7月15日 /美通社/ -- 近日,天准科技(股票代码:688003.SH)参股的姑苏矽行半导体手艺有限公司(下文简称"矽行半导体")公布,公司面向40nm手艺节点的明场纳米图形晶圆缺点检测装备TB1500...

开启国江南体育产半导体高端检测装备新时期

中国姑苏2024年7月15日 /美通社/ -- 近日,天准科技(股票代码:688003.SH)参股的姑苏矽行半导体手艺有限公司(下文简称 矽行半导体 )公布,公司面向40nm手艺节点的明场纳米图形晶圆缺点检测装备TB1500已完成厂内验证,标记着国产半导体高端检测装备实现了新的冲破。

这是继客岁8月,天准科技正式交付面向12英寸晶圆65~90nm手艺节点的宽波段明场缺点检测装备TB1000不到一年后,再次获得的阶段性新进展。

高精度明场缺点检测装备的主要性

从整片晶圆到单颗芯片,除需要耳熟能详的光刻机外,还需要分散炉、刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积装备、化学机械抛光机和清洗机等一系列必备出产型装备。

而缺点检测装备作为包管芯片质量、下降出产本钱,推动工艺迭代的主要东西,在芯片出产流程中不成或缺。特殊是跟着工艺制程不竭演进,制造芯片的本钱愈来愈高,检测装备的主要性一日千里。此中,具有更高检测精度、更全缺点类型笼盖率的明场缺点检测装备备受行业青睐。

天准科技发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备

作为国产半导体装备厂商的代表,成立在2021年11月的矽行半导体,会聚了来自国表里知名半导体装备公司、晶圆代工场、上市公司和研究机构的顶尖人材,专注在高端晶圆缺点检测装备和零部件的研发、出产和发卖,尽力弥补国产缺点检测装备市场的空白。依托出色的手艺团队和进步前辈的手艺实力,慢慢打破了KLA等外商对缺点检测市场的垄断,为国内半导体财产的成长注入了新的活力。

TB1500是矽行半导体最新的研发功效,焦点要害部件全数实现自立可控,同时采取了进步前辈的旌旗灯号处置算法,有用提高信噪比和检测活络度。为了知足40nm手艺节点的工艺制程需求,TB1500晋升了光源亮度和感度,增年夜了物镜视野和速度,可以或许捕获更小缺点尺寸。

天准科技发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备

天准科技半导体装备深结构,助推国产半导体行业冲破

另外,天准科技在半导体装备范畴延续发力。全资子公司MueTec研发的面向12英寸40nm手艺节点的DaVinci G5装备,颠末年夜量的晶圆实测数据验证,表示优良。与前两代产物比拟,该装备晋升了反复性、吞吐量和精深宽比套刻标识表记标帜辨认能力,将在知足年夜范围出产的需求下,使复杂芯片图案的套刻精度检测成为可能,极年夜地提高制造效力。

天准科技发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备

天准科技致力打造出色视觉设备平台企业,经由过程自立研发、海外并购德国MueTec和计谋投资成立矽行公司等多种路子,强化在半导体检测装备范畴的结构。据悉,矽行半导面子向28nm手艺节点的TB2000装备当进步展顺遂,各焦点零部件均已完成开辟,打算在2024年末发布样机。

跟着人工智能、年夜数据等手艺的融会与成长,半导体检测装备将趋势更高精度、更高效力和更高智能化的标的目的演进。将来,天准科技将凭仗其手艺立异和计谋结构,继续鞭策手艺和产物进级,力争在半导体范畴成为一流的半导体量测与检测装备公司,助力国产半导体行业冲破。

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